SIMIT Nb03工艺PDK

基于SIMIT Nb03工艺，超导IC课题组开发了适合大超导IC设计的工艺设计包（PDK）并制定了详细的设计规则，包含各层尺寸、距离、嵌套等规则、各层关键参数、器件版图设计建议、掩膜版参数等信息。