于海涛，博士，研究员，吉林省吉林市人，福建省高层次人才（A类），上海市东方英才青年创业人才，国家重点研发计划首席科学家，中科院青年创新促进会会员，全国气湿敏专业委员会委员。2004年6月于北京大学物理学系获学士学位，2009年6月于中国科学院上海微系统与信息技术研究所获博士学位。主要从事MEMS谐振式传感器和科学分析仪器研究工作。主持国家重点研发计划项目一项、课题一项，国家自然科学基金项目多项，参与各类国家级项目十余项。获上海市技术发明一等奖（排名第三），在Nano Lett.、Anal. Chem.等领域高水平期刊和IEEE MEMS等领域顶级国际会议上发表论文70余篇，授权各类专利30余项，编写专著1本，编写国家标准1项。