上海市科技进步一等奖----传感技术实验室

获奖

上海市科技进步一等奖

文章来源： | 发布时间：2022-01-21

文章来源： | 发布时间：2022-01-21 | 【打印】【关闭】

冯飞、杨恒、吴燕红参加的“高效单面加工MEMS规模制造关键技术”项目荣获“上海市科技进步一等奖”。

版权所有 © 中国科学院上海微系统与信息技术研究所　沪ICP备05005483号-1
地址：上海市长宁路865号　邮编：200050　电话：021-62511070