MEMS是当今微纳传感器制造的主流技术，该领域规模最大的国际顶级学术会议IEEE MEMS（IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems），每年一届在美洲、欧洲和亚洲轮流举行，至今已举办36届。该会议是微机电系统领域最高级别的国际学术会议，主要报道微纳加工与集成、微纳传感器与执行器、以及微系统等方面的研究新进展。

    第37届IEEE MEMS 国际会议将于2024年1月底在美国奥斯汀召开。本届会议通过国际委员会评审，在900余篇投稿中共录用论文316篇，其中Oral论文72篇，Poster论文244篇。中国大陆总共录用论文102篇（包括Oral论文23篇和Poster论文79篇）。中国科学院上海微系统所本次共入选26篇论文，位列世界第一。其中，Oral论文数量7篇，约占本次会议Oral论文总数的10%，Oral论文内容包括MEMS陀螺仪、MEMS生物医学传感器、MEMS光学器件和MEMS热传感驱动器等（按会议报告日期先后顺序）。