10月23日，2023年度上海市科学技术奖励大会在上海展览中心隆重召开。由李昕欣，许鹏程，于海涛，陈滢，李明，贾浩，王雪凤团队完成的“变温谐振微悬臂梁的材料原位测量分析方法与科学仪器技术”项目荣获“上海市技术发明一等奖”；由陈方团队与上海航天控制技术研究所等合作单位团队共同完成的“高性能MEMS陀螺及其系统应用技术”项目荣获“上海市科技进步二等奖”。

获奖简介

“变温谐振微悬臂梁的材料原位测量分析方法与科学仪器技术”

荣获“上海市技术发明一等奖”

李昕欣，许鹏程，于海涛，陈  滢，李  明，贾  浩，王雪凤

李昕欣研究员团队针对材料理化特性表征用吸附分析/热分析仪器缺乏高灵敏原位测量技术的共性问题，发明变温谐振悬臂梁MEMS集成芯片和超灵敏原位测量技术，创新研发出国际首款界面热力学动力学整套参数测量仪（ITKP）、首款可原位显微联用的微悬臂梁热重分析仪（TGA）和首款原位测量的程序升温脱附分析仪(in-situ TPD)等一系列成果鉴定为水平国际领先的科学仪器。使该类仪器实现了全新分析功能和测量精度的数量级提升，并在脱附活化能测量上显著改进了现有仪器长期沿用的教科书经典方法，在仪器芯片化换代提升的同时取得重要科学进步。成果转化创建的厦门海恩迈科技有限公司已实现系列仪器产品销售和推广应用，并将国产高端仪器反向出售给发达国家著名科学机构。

“高性能MEMS陀螺及其系统应用技术”项目荣获“上海市科技进步二等奖”。

陈方副研究员（第三完成人）与上海航天控制技术研究所等合作单位团队共同完成

陈方副研究员团队与上海航天技术研究所产学研用相结合，聚焦限制高性能MEMS陀螺和系统研制与应用的核心瓶颈技术，以MEMS陀螺芯片、电路控制、系统应用为任务主线，历经多年攻关，突破了一系列关键技术，大幅提升了国产MEMS陀螺及其惯性测量系统的技术水平。基于国产高性能四质量块MEMS陀螺仪裸片，研制了高性能MEMS陀螺及一系列惯性测量系统，产品性能达到了导航级。