一室学术沙龙Keynote通知
主讲嘉宾:许磊博士
报告题目:基于微型加热器的气体传感器
时 间:12月7日(星期三)下午6:30
地 点:5号楼三楼307会议室
嘉宾简介:
许磊,博士,中国科学技术大学特任研究员
1985年10月出生,安徽霍邱人。2007年1月毕业于安徽师范大学电子信息工程专业。2012年6月毕业于中国科学院上海微系统与信息技术研究所微电子学与固体电子学专业,获博士学位。2014年7月~2015年6月赴美国加州理工学院MEMS实验室进行访问研究。曾在RAE SYSTEMS,思源电气,中国电科等上司公司实习和工作。长期致力于微纳技术和传感技术的应用研发,特别是微型加热器、MEMS气体传感器、MEMS流量传感器、MEMS生物医疗传感器等。发表文章20余篇,授权专利10余项。
摘要:气体传感器广泛应用于环境监测、工业生产、家庭生活、食品和医疗等领域。MEMS技术正在持续推动传感器行业的发展,微型加热器作为典型的MEMS器件被广泛研究以提高气体传感器的性能。如何实现低功耗、高灵敏度、高机械强度和长期稳定的MEMS气体传感器是业内面临的挑战。本报告将介绍微型加热器的设计与制造方法,以及基于微型加热器的催化燃烧式气体传感器和金属氧化物半导体式气体传感器。