跨尺度微纳集成制造技术

  

    针对“造不出”问题,研究集成制造工艺对传感材料和结构特性的影响机制、在线测量和控制手段,发展跨尺度异形传感结构的精准构筑新方法。重点任务包括:(1)制造过程形性演变机理,(2)全链条成套工艺能力,(3)在线测量和控制手。