随着先进制程与材料发展，对材料分析技术的精确度、准确度、可重复性需求是持续且快速升级的。以湿电子化学品为例，G5级别对应元素杂质的检出限为ppt；而面向G6级化学品研发需要，检出限则需要达到ppq级别。此外，新型半导体材料与工艺材料范围极广，涉及上千类别，彼此差异极大，所需要的先进分析表征技术多样且复杂。

本课题组面向下一代材料创新，开发并推广应用先进分析表征技术，主要方向包括：

1. 超高纯湿电子化学品分析技术研发；

2. 配方类功能化学品超痕量有机成分分析技术研发；

3. 结合AI技术的测试图谱解析技术研发；

4. 面向无标准品测试的定量校准技术与计算模拟技术研发；

5. 极限分析表征设备研制与应用。