Toggle navigation
首 页
概 况
组织机构
学术委员会
科研成果
获奖
荣誉
研究生获奖
研究平台
高端硅基材料研发平台
KFS SOI工艺与设计平台
硅光电子集成工艺平台
文化建设
ENGLISH
首页
>
科研部门
>
硅基材料与集成器件实验室
>
科研进展
科研进展
[2025-04-23]
用“搭积木”方式构建碳化硅片上异质集成量子光源
[2025-04-23]
基于钽酸锂光频梳合作研究成果在《Nature》发表
[2025-04-23]
用“搭积木”方式构建碳化硅片上异质集成量子光源
[2025-04-23]
上海微系统所在IEDM 2024上发布面向5G/6G声波器件的新型预定义压电异质衬底解决方案
[2024-12-16]
上海微系统所在IEDM2024上发布晶圆级金刚石基氧化镓阵列化单晶薄膜及高性能射频器...
[2024-08-08]
上海微系统所成功开发面向二维集成电路的单晶金属氧化物栅介质晶圆
[2024-03-13]
上海微系统所在八英寸SOI/铌酸锂异质集成技术方面取得重要进展
[2024-03-13]
上海微系统所在硅基磷化铟异质集成片上光源方面取得重要进展
[2024-02-07]
上海微系统所喜获上海分院多项表彰
[2024-02-07]
喜报 | 上海微系统所荣获2023年度中国半导体十大研究进展
[2024-01-29]
上海微系统所两位科研人员喜获2023“上海科技青年35人引领计划”
[2023-12-28]
喜报！上海微系统所“集成电路用300mm硅片关键技术研发与产业化”团队荣获2023年度...
[2023-12-25]
上海微系统所在IEDM 2023上发布面向5G/Wi-Fi 6异质集成双模SAW射频滤波器技术方案
[2023-12-04]
内嵌光子晶体的高速响应超导纳米线单光子探测器
[2023-11-30]
上海微系统所在IEEE MEMS 2024国际会议中再创佳绩
[2023-10-20]
上海微系统所在300 mm SOI晶圆制造技术方面实现突破
[2023-06-16]
上海微系统所在硅基胶体量子点片上发光取得重要进展
[2023-06-06]
上海微系统所在300mm大硅片晶体生长的数值模拟研究方面取得重要进展
[2023-05-30]
喜报！ 上海微系统所获多项2022年度上海市科学技术奖
[2023-05-08]
奋斗正当时 | 300mm大硅片核心技术攻关青年突击队荣获2022年度上海市青年五四奖章...
[2023-04-11]
上海微系统所荣获电力科学技术进步奖
[2023-03-22]
上海微系统所两项成果喜获2022年度上海分院科技创新“十大进展”
[2022-12-07]
上海微系统所在碳化硅异质集成材料与光子器件领域取得进展
[2022-09-11]
上海微系统所在硅基宽光谱探测研究方面取得系列进展
[2022-08-08]
碳化硅单晶薄膜制备技术及集成光子应用
1
2
3
»
尾页
版权所有 © 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
沪ICP备05005483号-1
地址：上海市长宁路865号 邮编：200050 电话：021-62511070
