透射电子显微镜（JEM-2100F）

　　l  设备简介

　　透射电子显微镜（Transmission electron microscope，缩写TEM），简称透射电镜，是把经加速和聚集的电子束投射到非常薄的样品上，电子与样品中的原子碰撞而改变方向，从而产生立体角散射。散射角的大小与样品的密度、厚度相关，因此可以形成明暗不同的影像，影像将在放大、聚焦后在成像器件（如荧光屏、胶片、以及感光耦合组件）上显示出来。

　　l  设备原理

　　由电子枪发射出来的电子束，在真空通道中沿着镜体光轴穿越聚光镜，通过聚光镜将之会聚成一束光斑，照射在样品室内的样品上；透过样品后的电子束携带有样品内部的结构信息；经过物镜的会聚调焦和初级放大后，电子束进入下级的中间透镜和投影镜进行综合放大成像，最终被放大了的电子影像投射在观察室内的荧光屏板上；荧光屏将电子影像转化为可见光影像以供使用者观察。

　　l  设备主要功能

　　ü  原子分辨率的高分辨明场形貌像

　　ü  暗场形貌像

　　ü  电子衍射图像和选区电子衍射图像

　　ü  光束会聚的纳米束衍射图像

　　ü  STEM成像（明场和暗场）

　　ü  微区的点线面成份分析

　　l  设备技术指标

　　ü  加速电压/ Accelerating Voltage：80kV, 100kV, 120kV, 160kV, 200kV

　　ü  放大倍率/Magnification：x50 to 1,500,000

　　ü  最小束斑尺寸/Minimum Spot Size：0.5nm

　　ü  TEM点分辨率/ TEM Point Resolution：0.23 nm

　　ü  TEM线分辨率/ TEM Line Resolution：0.1nm

　　ü  STEM分辨率/STEM Resolution：0.2 nm

　　ü  样品倾转角/Tilt Angle with Double-tilt Holder：± 30^o

　　l  测试样品要求

　　1）粉末样品基本要求

　　ü  单颗粉末尺寸最好小于1μm

　　ü  无磁性

　　ü  以无机成分为主，否则会造成电镜严重的污染，高压跳掉，甚至击坏高压枪

　　2）块状样品基本要求

　　ü  需要电解减薄或离子减薄，具有几十纳米的薄区才能观察

　　ü  如晶粒尺寸小于1μm，也可用破碎等机械方法制成粉末来观察

　　ü  无磁性

　　ü  块状样品制备复杂、工序多、耗时长，样品状态直接影响电镜的观察和分析，所以样品制备之前，最好与TEM工程师进行沟通