双球差校正透射电子显微镜（JEM-ARM300F）

　　l  设备简介

　　透射电子显微镜在材料科学、凝聚态物理学、生物学和化学领域中已经是一种常用的研究工具，其最大的优势是具有纳米量级甚至更高的分辨率，利用高性能的透射电子显微镜可以在原子尺度范围内探测物质的结构和化学成份，揭示物质变化的内在显微结构和各种宏观性能之间的关系。

　　l  设备原理

　　原子分辨率双球差透射电子显微镜和其他透射电子显微镜一样，是以发射电子作为光源，利用电磁透镜使电子束会聚并对穿透样品的入射电子聚焦成像，获得样品结构信息的电子光学仪器，具有晶体结构及物相的确定和化学成份分析的功能。

　　l  设备主要功能

　　ü  配备物镜球差校正器：显著提高了TEM的分辨率，可以实现超高分辨率的透射观察(80pm)，可通过直接的原子像表征开展表面、界面、缺陷等材料原子结构相关研究。

　　ü  配备聚光镜球差矫正器：显著提高了STEM的分辨率，可以实现超高分辨率的扫描透射观察(82pm)，可通过环形明场(ABF)、环形暗场(ADF)和高角度环形暗场(HAADF)研究材料的轻重原子分布和占位，并结合X射线能谱得到材料原子分辨率的成份分布。

　　ü  配备超高灵敏度的X射线能谱(多探头无窗能谱)：可探测B以上元素，得到原子分辨率的成份分布，微量元素含量低至0.1at.%即可进行表征，可进行能谱的三维成份重构。

　　ü  配备CMOS数字相机系统：视野大4K×4K；读取速度快25fps，拍摄录像流畅；动态范围大16bit，可直接拍摄电子衍射花样。

　　l  设备技术指标

　　ü  加速电压：最高可达300kv

　　ü  TEM点分辨率：80pm

　　ü  STEM分辨率：82pm

　　ü  样品室真空：< 1 x 10^-5 Pa，电子枪真空：< 1 x 10^-6 Pa

　　ü  TEM放大倍数：50-1,500,000倍；STEM最大放大倍数：≥100,000,000倍

　　ü  照像方式：CMOS相机具有4k x 4k像素尺寸，可以采集大面积的图像、然后数字放大来获得具体位子的高放大倍率的图像，大的动态范围可以满足拍摄衍射花样，高的读取速度还适合拍摄动态录像，安装位置：底部安装，读取速度：25fps @4kx4k，100fps @2kx2k，200fps @1kx1k，300fps @512x512

　　l  测试样品要求

　　ü  无磁性的一般透射电镜样品

　　ü  直径小于3mm，薄区厚度不超过100nm 的圆片

　　ü  FIB制备的样品

　　ü  分散在铜网上的粉末样品

　　ü  其他透射电镜样品（特殊样品杆）