原子力显微镜（AFM）
场发射扫描电镜（FESEM）
聚焦离子束（FIB）双束系统
原子层沉积
可变霍尔测试系统
高密度等离子刻蚀系统
电子束蒸发镀膜
V90分子束外延设备
DCA P600 and 450 双腔室分子束外延设备
