高密度相变存储器
主要研究内容包括:
(1) 高密度独立式三维相变存储器(3D PCRAM)研究:高速低功耗相变材料与高速可逆相变机理、阈值转变选通管材料与非线性机理、3D PCRAM电路设计;
(2) 高可靠性嵌入式PCRAM研究:高数据保持力相变材料与机理、高稳定性多值存储研究、相变存储器神经形态关键技术研究;
(3) PCRAM芯片设计、测试与应用: 130/110/40/28 nm电路设计、芯片工艺设计、自主测试平台及8/12英寸测试系统、芯片封装测试及应用。
(4) 12英寸PCRAM工艺开发:纳米填充、抛光、刻蚀等工艺开发;1D、1R、纳米电极、介质包覆层等单项工艺开发;1T1R、1D1R工艺集成与优化。
(5) 高纯纳米磨料和抛光液:电子级纳米磨料、硅片抛光液、蓝宝石抛光液、相变材料抛光液。