信息功能材料微结构表征平台致力于为高性能信息功能材料与器件基础研究与应用开发提供强大技术支撑。通过综合利用各类先进的材料与器件表征及性能测试仪器，开展信息功能材料与器件的微区成分和结构分析，深刻揭示材料与器件结构、成份和性能之间关系，为自主功能材料开发及其在芯片中的应用、器件的功能设计和性能优化等提供重要指导；为实现自主核心芯片研发、突破国际专利封锁、做出国际一流水平的原创性研究成果提供重要支撑。

　　信息功能材料微结构平台发展目标是建成装备一流、管理一流、技术服务一流的信息功能材料与器件微结构表征公用平台；建设一支技术全面、技艺精湛、具有创新精神的技术支撑队伍；全面实现设备资源的开放共享，为信息功能材料国家重点实验室以及全社会科技需求提供高效、高品质技术服务。

　　信息功能材料微结构表征平台配置大型分析设备8台套，具备材料与器件微结构纳米-亚埃级尺度的分析能力。重要设备包括：双球差校正透射电子显微镜、三维原子探针、低温强磁场微波扫描阻抗显微镜和聚焦离子束-扫描电子显微镜双束系统。双球差校正透射电子显微镜具有80 pm超高分辨率，可实现纳米尺度下观察原子像，通电、加热、冷冻等原位实验以及三维重构实验，是世界上分辨率最高的显微镜，是厂商在亚洲市场销售并安装到位进入运行状态的第一台；三维原子探针具有原子级空间分辨率，可以实现在亚纳米尺度材料微区元素成分的精准分析和三维重建，也是目前国内唯一针对半导体材料开展专门研究的科研仪器；低温强磁场微波扫描阻抗显微镜可实现纳米精度材料介电特性的分析，强磁场和低温更是极大提升了该仪器的分析能力和范围，对于低维材料、拓扑量子材料以及半导体材料和器件结构分析可以发挥重要作用，这也是目前国内为数不多的配备低温和强磁场的微波阻抗显微分析仪器。

　　平台不仅具有先进的硬件设施，还组建了由一流的科研人员和技术人员共同组成的精通设备原理、科学研究和运行管理的交叉创新服务团队。每台大型设备都专门配置了技术负责人和设备负责人，技术负责人由相关领域科学家担任，引领平台技术发展和解决平台运行过程中需要解决的技术问题；设备负责人专注于设备功能开发和技术支撑服务，从而实现了平台技术服务与科学研究的高度融合。技术支撑队伍建设为平台的稳定、高效、高水平运行创造了重要条件。

微结构表征平台