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上海市长宁区865号simco@mail.sim.ac.cnMEMS技术平台由微系统加工与封装两个平台构成，能提供从微芯片制造、芯片封装、器件测试和微系统集成的全流程服务。
超导器件工艺平台具备超导量子干涉器件、超导单光子探测器件等器件的自主研制和小批量超导器件的生产能力。
材料器件工艺与表征平台拥有器件制备、材料验证和表征测试等先进微纳加工与表征测试设备，具备长期技术积累与专业服务能力，能满足射频、光电、压电、生物传感等多种核心功能器件与新型前沿交叉器件加工制备与表征测试需求。
微结构平台配备离子束加工和高性能材料分析系统，实现原子的三维重构、纳米尺度下成像、分析原子成分与分布、化合物键态等功能。
原位电子平台将先进电子谱学探测技术与材料生长手段集成于一体，实现材料的原子精度可控生长，开展原位及真实工作环境下的高精度电子结构测量。
生化敏感材料与效应研究平台, 是一个面向人工智能、脑机接口、器官芯片、重大疾病诊治等重大应用，集高精度微纳制备、微观效应表征、先进性检测能力于一体的传感技术研究平台。
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