随着MEMS微纳制造技术的不断进步，MEMS传感器在航空航天、生化医疗、食品安全等领域得到广泛的应用，特别是近几年来伴随着汽车电子产品和物联网的快速发展，市场对不同类型和功能的MEMS传感器需求量越来越大。

实验室在体硅微机械加工、表面微机械加工、准LIGA加工技术和各种非硅微加工、先进封装工艺和纳机械结构制造等方面已. . .具有国内领先、国际先进的技术水平。

作为国家重点实验室，在MEMS与传感器结合的前沿研究方面，实验室利用本领域不同学科交叉创新的特点，在敏感效应、机制和材料的研究方向上也做了重要的部署。

主要从事微流控芯片、纳米生物传感、微纳电化学传感及物联网系统等方面的研究，在用于临床检验、环境监测以及食品安全检测所需微纳传感器新原理、新方法和新技术方面开展了研究，研发出系列用于临床肿瘤早期检测、环境水质监测的微纳生化传感器及系统。