实验室从1987年成立至今，一直以来以微电子技术和微纳加工技术为基础开展各类微纳传感器和微系统的研究工作，经过多年积累，实验室在体硅微机械加工、表面微机械加工、准LIGA加工技术和各种非硅微加工、先进封装工艺和纳机械结构制造等方面已...