实验室在此方向上的主要研究内容包括：各种物理量MEMS传感器（如加速度、角速度等惯性传感器，压力传感器、温度传感器、硅基振荡器、高度计、应变计、麦克风等）、痕量气体传感器、微流量计、无源微能量采集器及航天光纤传感器等器件的原理、设计和制造技术研究。