服务指南----中国科学院上海微系统与信息技术研究所

服务指南

设备预约：平台仪器设备按工艺分为需要预约和无需预约两类。

无需预约的设备为可自主操作使用的仪器设备，取得《工艺设备操作许可证》的用户可以采用先到先用、依次排队进行工艺加工。

需要预约的设备或工艺加工应在预约系统中进行预约，按预约时间使用设备。如设备使用时间超过预约时间，在征得后续预约人员同意后可以继续使用，否则，应无条件停止使用。

新工艺开发：新工艺开发准入必须符合公用性原则，避免相互玷污和影响其他工艺，由用户填写《平台新工艺准入申请审批表》，由平台负责人审核后提交技术管理委员会批准，经批准后后方可引入新工艺。

服务咨询：通过电话、面谈、邮件等方式确认工艺可行性，工艺可行性为免费咨询，如涉及工艺设计、流程编写和更改等按照标准收费，工艺及相关费用按照（《中国科学院上海微系统所公共技术中心材料器件工艺与表征平台收费标准》）。