电子束蒸发系统

设备型号
Mantis/Qbox450
设备简介
采用高能电子束将坩埚内源蒸发沉积到基片上，金属源有Ti、Pt、Au、Ge、Ni，速率0.1A/s~20A/s可调，晶振厚度监控。
技术指标
1)基片大小：最大4英寸，兼容小片；2)极限真空：8×10-5Pa；3)基片最高加热300℃；4)不均匀性：≤±5%

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