扫描电子显微镜SEM

设备型号
Zeiss SUPRA 55
设备简介
表面形貌二次电子成像，微区元素定性、定量分析（EDS），微观组织结构分析（EBSD），微纳加工能力（EBL）。
技术指标
1）分辨率1.0nm@15kV，1.7nm@1kV，4.0nm@1kV；2）放大倍数12~900000；3）加速电压：01~20KV 

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