设备型号:
QATM Qpol 250
设备简介:
用于失效样品chip的背面减薄工艺和正面去层工艺,失效器件截面的制备。
技术指标:
1)研磨盘的尺寸为250mm
2)转速50~500mmp可调
3)旋转方向顺逆时针可调
4)双盘可以同时进行
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