基片尺寸:5mmx5mm-250mmx250mm；

有效光刻面积:250mmx250mm；

最小线宽:0.5um；

套刻精度:±0.5um；

曝光光源:355nm波长紫外固体激光器；

最大输出光功率:10W@20KHz；

加工效率:>100mm2/min@0.5um；300mm2/min@1um；

曝光模式:物镜配置10X,20X,50X三种不同的曝光物镜；