三维原子探针采用了局部电极原子探针断层分析技术，是一种高性能原子级空间分辨率的测量和分析设备。
聚焦离子束扫描电子显微镜Helios Nanolab 600是美国FEI 公司（今赛默飞公司）第一代Helios机器，集成电子束与离子束系统。
透射电子显微镜最大的优势是具有纳米量级甚至更高的分辨率，揭示物质变化的内在显微结构和各种宏观性能之间的关系。
聚焦离子束扫描电子显微镜HeliosG4 UX借助无与伦比的低电压性能，Phoenix 聚焦离子束 (FIB) 镜筒不仅在高电压下提供高分辨率成像和铣削
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