上海微系统究所根据中科院《中国科学院技术支撑系统建设实施方案》（计字〔2011〕50 号）的文件精神，统筹所内学科领域发展的需要，结合所内学科规划布局以及中长期发展规划目标，建立起支撑我所学科领域发展的综合性所级技术支撑平台——所级公共技术服务中心（简称“所级中心”）。所级中心是支撑我所科研创新工作的公共技术服务平台，是科技创新活动所必需的实验条件稳定运行的基本保障，是科技创新的基础和平台，决定着创新的质量和效率。

　　所级中心包括MEMS技术平台、信息功能材料微结构表征平台、原位电子结构综合研究平台、超导器件工艺平台、太阳能电池标准与测试平台和化合物工艺平台公共六个平台，为我所的电子科学与技术、信息与通信工程两大优势学科的科学技术发展提供有力的技术支撑，为研究所下辖的国家重点实验、院重点实验室和其他研究中心等科研机构提供科研技术服务。所级中心实行独立运营，优先服务所内科研创新活动，同时积极对外开展测试和工艺加工服务，实现我所科研仪器装备的资源共享。

　　所级中心拟通过统筹规划、优化资源配置，加强技术支撑系统建设，建立装备一流、管理一流、技术服务一流的所级公共技术服务中心，实现仪器设备的高效共享利用，服务于“知识创新工程”。
　　所级中心已有共享的仪器设备近70台（套），总价值超过1亿元人民币，且每台设备都配有相应的技术支撑人员进行操作和维护，这些设备现已全部对外开放提供服务，欢迎所内外的用户通过中国科学院仪器设备共享管理平台（http://samp.ac.cn）进行预约和使用。