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  为进一步提高平台仪器设备使用效率，加强仪器使用的安全意识和责任意识，提升科研人员对大型尖端仪器的理论知识水平和实际操作技能。

  所级公共技术中心材料器件工艺与表征平台在2024年第三季度开展了8场专项培训，其中包含入室安全培训，SEM设备上机培训、ICP刻蚀设备上机培训、RIE刻蚀设备上机培训、MA6光刻设备上机培训及光刻工艺入门实操培训，累计培训学员62人。41名新学员通过了平台审核获得了净化室使用权限。

  在平台第三季度开展的多项设备上机培训中，17名学员在完成培训后通过考核，获得设备操作许可，可以独立上机操作。2名学员通过了MA6光刻设备上机考核；1名学员通过了ICP刻蚀设备上机考核；10名学员通过了RIE刻蚀设备上机考核；4名学员通过了SEM设备上机考核。

  此外，2024年9月26日，中国科学院上海微系统所联合蔡司开展了显微成像技术及应用讲座，本场讲座由蔡司的高级应用工程师主讲，共25人参与。本场讲座通过理论讲解与典型样品上机测试，提升了参与人员的SEM设备操作技能，助力我所科研工作者更好的使用平台电镜仪器，进一步开展科研工作。

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  为进一步满足科研人员需求，提升设备使用效率，中国科学院上海微系统与信息技术研究所公共技术中心于9月26日在上海微系统所长宁园区5号楼308会议室举办了显微成像技术及应用讲座。

  

  此次讲座由蔡司的高级应用工程师主讲，他们在电镜领域拥有丰富的从业经验。讲座中，三位工程师分享了蔡司激光共聚焦显微镜在半导体行业的应用、SEM和FIB微纳加工应用，以及X射线显微镜三维无损结构表征应用案例。本场讲座的实操环节在上海微系统所长宁园区8号楼211实验室，进行了SEM扫描电子显微镜的实机演示及操作指导。

  

  此次所级中心联合蔡司开展专题讲座圆满结束。本场讲座通过理论讲解与典型样品上机测试，提升了参与人员的SEM设备操作技能，助力我所科研工作者更好的使用平台电镜仪器，进一步开展科研工作。