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上海市长宁区865号simco@mail.sim.ac.cn为进一步提高平台仪器设备使用效率，加强仪器使用的安全意识和责任意识，提升科研人员对大型尖端仪器的理论知识水平和实际操作技能。
所级公共技术中心材料器件工艺与表征平台在2024年第三季度开展了8场专项培训，其中包含入室安全培训，SEM设备上机培训、ICP刻蚀设备上机培训、RIE刻蚀设备上机培训、MA6光刻设备上机培训及光刻工艺入门实操培训，累计培训学员62人。41名新学员通过了平台审核获得了净化室使用权限。
在平台第三季度开展的多项设备上机培训中，17名学员在完成培训后通过考核，获得设备操作许可，可以独立上机操作。2名学员通过了MA6光刻设备上机考核；1名学员通过了ICP刻蚀设备上机考核；10名学员通过了RIE刻蚀设备上机考核；4名学员通过了SEM设备上机考核。
此外，2024年9月26日，中国科学院上海微系统所联合蔡司开展了显微成像技术及应用讲座，本场讲座由蔡司的高级应用工程师主讲，共25人参与。本场讲座通过理论讲解与典型样品上机测试，提升了参与人员的SEM设备操作技能，助力我所科研工作者更好的使用平台电镜仪器，进一步开展科研工作。
为进一步满足科研人员需求，提升设备使用效率，中国科学院上海微系统与信息技术研究所公共技术中心于9月26日在上海微系统所长宁园区5号楼308会议室举办了显微成像技术及应用讲座。
此次讲座由蔡司的高级应用工程师主讲，他们在电镜领域拥有丰富的从业经验。讲座中，三位工程师分享了蔡司激光共聚焦显微镜在半导体行业的应用、SEM和FIB微纳加工应用，以及X射线显微镜三维无损结构表征应用案例。本场讲座的实操环节在上海微系统所长宁园区8号楼211实验室，进行了SEM扫描电子显微镜的实机演示及操作指导。
此次所级中心联合蔡司开展专题讲座圆满结束。本场讲座通过理论讲解与典型样品上机测试，提升了参与人员的SEM设备操作技能，助力我所科研工作者更好的使用平台电镜仪器，进一步开展科研工作。
为进一步提高平台仪器设备使用效率，加强仪器使用的安全意识和责任意识，提升科研人员对大型尖端仪器的理论知识水平和实际操作技能。
所级公共技术中心材料器件工艺与表征平台在2024年第二季度开展了19场专项培训，其中包含入室安全培训，SEM设备上机培训、ICP刻蚀设备上机培训、IBE刻蚀设备上机培训、RIE刻蚀设备上机培训、MA6光刻设备上机培训及光刻工艺入门实操培训，累计培训学员102人。21名新学员通过了平台审核获得了净化室使用权限。
在平台第二季度开展的多项设备上机培训中，18名学员在完成培训后通过考核，获得设备操作许可，可以独立上机操作。2名学员通过了MA6光刻设备上机考核；2名学员通过了IBE刻蚀设备上机考核；9名学员通过了ICP刻蚀设备上机考核；5名学员通过了RIE刻蚀设备上机考核。
在平台第二季度开展的多项设备上机培训中，18名学员在完成培训后通过考核，获得设备操作许可，可以独立上机操作。
2名学员通过了MA6光刻设备上机考核；2名学员通过了IBE刻蚀设备上机考核；9名学员通过了ICP刻蚀设备上机考核；5名学员通过了RIE刻蚀设备上机考核。
2024年6月3日-6月28日，中国科学院上海微系统所联合上海大学开展了为期近一个月的微纳加工技术交流会。上海大学梁小燕老师，我所公共技术中心孙浩副主任带队，共18名大三学生参加本次实习交流活动。
第一周以工艺工程师讲授理论课程为主，课程包含刻蚀工艺设备基础培训、扫描电镜基础理论培训、微纳加工辅助设备培训、光刻工艺入门培训等。工程师结合实际案例与理论知识，深入浅出的讲解了各台设备运行原理与使用要点，为接下来的实践课程打下基础。第二周、第三周、第四周为实践课程，同学们走进净化间，近距离观摩工程师的工作内容。所级中心为同学们准备了刻蚀工艺，镀膜工艺等体验课程，让同学们亲自参与到工艺制备中。
6月28日，同学们以小组汇报的形式对本次交流活动做了总结。第一组同学的汇报围绕先进光刻技术的进展展开，介绍了光刻工艺的基本原理、光刻设备的更新换代、多种不同的光刻工艺，并着重介绍了浸没式光刻工艺。第二组同学的汇报围绕集成电路先进工艺展开，按照工艺流程的顺序依次介绍了光刻工艺、刻蚀工艺、薄膜沉积工艺、先进封装工艺，并在最后展开说了各类封装在终端中的应用。第三组同学的汇报围绕AI在集成电路设计与制备中的应用展开，列举了不同企业都在尝试将AI技术运用到电路设计上，并提出在未来AI技术将帮助设计团队更加准确地预测电路性能、功耗和可靠性，从而在设计早期阶段进行设计优化。
最后所级中心孙浩副主任就本次活动进行了总结，表扬了同学们在本次实习中的优异表现，第一、第二组同学的汇报紧贴微纳加工工艺流程展示了他们在本次交流活动中的学习成果，而第三组同学的汇报具有一定的前瞻性，在脚踏实地的学习中也不忘追随时代的脚步。孙老师希望同学们在之后的学习生活中更多的结合时事，持续关注集成电路在国内外的发展趋势，抓住人工智能在集成电路中的应用这一热点，并鼓励同学们在之后的求学过程中，保持积极探索的求学心态。同学们纷纷表示在这次交流活动中学到了很多，对微纳加工工艺有了更具体的了解，学习了微纳加工多个流程工艺，亲手参与了样品的制作，度过了一段充实的学习时光。
本次上海微系统所与上海大学微纳加工技术交流会圆满结束。
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