姓名：
获奖名称：	MEMS关键设计与制造技术及应用
主要完成人：
完成单位：
获奖类别：	上海市科学技术发明奖
获奖等级：	二等奖
授奖部门：	上海市
获奖时间：	2006-11-24
成果介绍：