2018年7月3日至4日，由中国科学院学部主办的“MEMS/NEMS与微纳传感器”科学与技术前沿论坛在上海微系统所嘉定园区召开。本次论坛由上海微系统所所长王曦院士担任执行主席，浙江大学杨卫院士、上海分院王建宇院士、中科院上海技术物理所褚君浩院士、加拿大工程院孙钰院士、中科院上海技术物理所方家熊院士等来自高校、科研机构和相关单位的专家、学者和学生90余人参加了本次论坛。

　　当前，人工智能、可穿戴装备、物联网等信息技术迅猛发展，需要海量的传感器提供支持，大数据和云计算等业务需要各种传感器实时采集各种数据来支撑，MEMS/NEMS与微纳传感器已成为全世界非常关注的热点研究领域。在这一背景下，中国科学院技术科学部组织召开了本次论坛。

　　王曦院士在论坛致辞中指出，当前智能终端、无人驾驶汽车、人工智能等产业的快速发展对微纳传感器提出了很多新要求，需要对微纳机电系统、传感器设计与制造的模式进行创新，以支撑面向崭新应用领域的微纳传感器研发和未来的产品化。通过此次论坛，院士、专家们结合MEMS/NEMS与微纳传感器的发展趋势和国家战略需求，可以深入探讨科技前沿与未来，为我国MEMS/NEMS与微纳传感器学科及相关产业的创新发展贡献智慧和力量。

　　杨卫院士代表技术科学部和学部发表讲话，介绍了科学与技术前沿论坛的背景及意义，围绕着微纳传感技术领域的国际发展趋势和国内战略布局，在肯定现有传感器产业取得成果的同时，也指出了目前存在的传感器国产化低、产品偏低端、技术创新薄弱、生产工艺落后等问题。希望通过这次论坛，使各位院士专家能够深入交流和讨论本学科发展中的关键问题，从而正确把握微纳机电系统与微纳传感学科前沿发展态势，有力支撑我国电子科技的可持续发展。

　　褚君浩院士做了题为“现代传感器技术研究若干进展”的主题报告，围绕智慧城市介绍了若干新型传感器的物理基础和技术特征，提出了以应用目标为导向来设计、以新材料新结构新方法为基础来研发、将现有材料和器件结构做到极致等三类研究新型传感器的方法。王建宇院士作了题为“光的极限探测在空间探测和通信中的应用”的主题报告，介绍了单光子探测技术发展情况，及其在空间探测和空间通信中的应用，并指出单光子探测是未来量子通信、光子通信的核心器件及性能保障。孙钰院士作了题为“Manipulation and Characterization of Human Cardiomyocytes for Drug Repurposing and Personalized Medication”的报告，从生物MEMS/NEMS技术发展角度，面向精准诊疗的应用，着重介绍了利用先进微纳加工技术制备生物可兼容的微纳器件，应用于人体心肌细胞的研究。黄庆安教授作了题为“面向《中国制造2025》的MEMS/NEMS发展战略研究”的主题报告，从国际MEMS/NEMS产业发展趋势和需求入手，介绍了我国MEMS//NEMS研发与产业发展现状、以及“十三五”国家重点研发计划中MEMS/NEMS相关考虑。詹其文教授代表庄松林院士做了题为“新型光学传感检测技术及其应用”的主题报告，面向环境监测、国家安全、大众健康等需求，结合团队在光学传感检测技术及其应用方面的一些最新进展，阐述了一系列高灵敏度低噪声，高空间分辨率，高速高通量，小型集成低成本的光学传感与检测技术的解决方案。夏善红研究员代表吴一戎院士做了题为“微纳传感器与微系统技术发展及应用”的主题报告，结合MEMS电场传感器和水环境监测无线网络微传感系统的具体工作，分析了现阶段我国在传感器与微系统技术领域发展的特点和面临的挑战，并给出了对相关领域发展的认识和建议。李志宏教授做了题为“植入式脑电极阵列”的主题报告，介绍了团队在神经元微电极阵列芯片方面的具体工作，提出了脑电极阵列芯片将为神经疾病的病因研究、精准诊断与治疗提供新的方法与途径，并指出针对中国“脑计划”、类脑芯片、生物交叉技术等研究，整合团队力量开展植入电极芯片研究的必要性。龚海梅研究员代表方家熊院士做了题为“短波红外InGaAs传感器的应用与发展”的主题报告，介绍了高性能短波红外InGaAs传感器在航天领域的重要进展，并指出短波红外InGaAs传感器在单兵装备、物联网、智慧城市等军民领域的工程化、产品化的发展方向。李昕欣研究员代表王曦院士做了题为“针对物理传感器与生化传感器各自具体发展阶段思考与建议”的主题报告，针对全球市场竞争与知识产权高度保护的形势，提出了开拓具有中国自主知识产权的通用的MEMS传感器设计、制造以及自动化封测技术的解决方案，并结合互联网+的发展，对传感器在中医药和大众健康领域可能实现的新应用突破给予了前瞻预测。

　　东南大学的顾宁教授、中科院半导体所的杨富华研究员、上海交大的张亚非教授、浙江大学的王平教授、中科院上海微系统所的王跃林研究员、中科院合肥物质科学研究院的高理富研究员、华东师范大学的张建教授、上海大学的徐甲强教授中科院电子学所的王军波研究员等做了自由发言。与会院士、专家围绕论坛主题并结合自身的研究体会，进行了热烈交流和深入讨论。专家们总结凝练了本领域的研究现状，前瞻性地分析了微纳传感技术领域的中长期发展趋势，提出传感器的研究要以应用为导向上升到系统层面，摒弃以往分立器件的研究格局；针对此次中美贸易战的教训，应瞄准目前“卡脖子”的关键技术，着力开发国内市场上难以获取的传感器以及其他技术无法替代的独特传感器；并且指出要重视科学，潜心研究，坚持长期投入和积累，做有中国特色的传感器技术。

　　会议期间，与会专家们还观摩了国家智能传感器创新中心，并参观了上海微技术工业研究院的八英寸“超越摩尔”研发中试线，丁辉文总经理亲自向专家们介绍了平台的定位、功能、业务范围及发展目标。

　　本次论坛由中国科学院学部主办，中国科学院技术科学部、中国科学院学部学术与出版工作委员会承办，中科院上海微系统所传感技术联合国家重点实验室、《中国科学》杂志社协办。

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