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超越自我 奋力拼搏 | 上海微系统所参加上海分院第四届职工运动会
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我所院科研装备研制项目“多功能磁控等离子体工艺系统”顺利通过验收　07.11.29
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魁北克经济发展、创新与出口贸易部助理副部长访问中心 07.11.14
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《微机电系统（MEMS）平台建设》项目通过上海市科委验收 07.11.14
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