上海微系统所喜获上海市科学技术发明一等奖
3月22日,2016年度上海市科学技术奖励大会在上海友谊会堂隆重召开。一批优秀的创新成果和科技人员获得嘉奖。据悉,上海市科学技术奖共颁发奖项265项(人),其中青年科技杰出贡献奖10项、自然科学奖22项、技术发明奖30项、科技进步奖107项,国际科技合作奖2项。中科院上海微系统与信息技术研究所宋志棠研究员团队的科研成果“电子级二氧化硅纳米抛光新材料及工业化制备关键技术”获得技术发明奖一等奖。
电子级二氧化硅磨料和抛光液是IC、LED、智能手机行业实现其原子级平面加工的关键材料,核心技术被国外大公司垄断。宋志棠研究员团队发明了高纯离子交换、均匀生长以及万吨生产SiO2的新方法,打破国外技术封锁,建成了具有自主知识产权的万吨级超纯SiO2工业化生产线;发明了具有高抛光效率的系列蓝宝石抛光液,产品大幅度替代进口,占国内LED行业80%以上市场;发明了高抛光表面质量的铝合金和不锈钢系列金属抛光液,成果大规模应用在手机行业。目前,宋志棠研究员团队所开发的电子级SiO2纳米磨料和抛光液已在六十几家企业获得大规模应用,产生直接经济效益1.0亿,间接经济效益大于13.7亿。对提升我国行业竞争力和SiO2纳米新材料制备水平发挥了重要作用。