集成电路领域
  
姓 名:
朱雷
性    别:
职 务:
职    称:
高级工程师
学 历:
硕士研究生
通讯地址:
长宁路865号
电 话:
021-62511070
邮政编码:
200050
传 真:
62524192
电子邮件:
leizhu@mail.sim.ac.cn

简历:

朱雷,高级工程师,硕士生导师,2018年博士毕业于中国科学院上海微系统所,获批中国科学院特聘研究岗、嘉定区紧缺人才,长期从事集成电路材料领域的研发和产业化工作。专注于集成电路材料基因组交叉方向,搭建高通量、跨尺度模拟、人工智能平台,参与研制成功200mm高通量PVD-ALD-XPS集簇设备,并在AlScN等材料研发中示范应用,高效获取了优化的材料组分,同时领导建立抛光材料、沉膜材料基因组,并应用于300mm硅片平坦化、ALD前驱体研发,大幅提高研发效率。近年来作为项目/课题负责人承担国家、中国科学院、省部级项目共7项,申请发明专利10余项,在国际学术期刊上发表论文17篇,合著专著一本。


研究领域:
社会任职:

获奖及荣誉:
代表论著:

承担科研项目情况: