党政工作部
科研管理部
人力资源部
条件保障部
科技促进发展部
上海微技术工业研究院
上海集成电路材料研究院有限公司
上海新微半导体有限公司
上海新微科技集团有限公司
国家智能传感器创新中心
上海硅产业集团股份有限公司
上海瀚讯信息技术股份有限公司
上海新微企业管理有限公司
树立正确政绩观 聚力攻关践初心——集成电路材料全国重点实验室硅基党总支开展沉浸式党课暨主题党日活动
深学细悟强担当 锚定目标勇攻坚——上海微系统所集成电路材料全国重点实验室太赫兹党支部、集成电路材料全国重点实验室超导党支部联合联合党课暨主题党日活动
树牢正确政绩观 深化全重建设 勇攀科技高峰—— 上海微系统所微系统技术实验室党支部、宽带无线通信实验室党支部、仿生视觉系统实验室党支部联合党课暨主题党日活动
空间限制热回流加工高填充因子微透镜阵列
所级公共技术中心举办FIB与TEM前沿技术与应用实践交流会
超声波扫描显微镜无损检测的主要工作模式
传感技术实验室
纳米材料与器件实验室
太赫兹固态技术实验室
微系统技术实验室
宽带无线通信实验室
硅基材料与集成器件实验室
超导电子学实验室
仿生视觉系统实验室
2020前沿实验室
中科院上海微系统与信息技术研究所公共技术中心
微系统技术加工服务平台
信息功能材料微结构表征平台
太赫兹及毫米波器件平台
无线通信及传感网测试平台
太阳能研发与测试平台
超导材料与器件平台
