科研平台
集成电路材料全国重点实验室科研平台围绕学科发展方向,坚持“开放、共享、创新、高效”的建设理念,经过持续投入与优化,形成了较为完备的科研支撑体系。实验室现配备大型仪器设备近200台(套),涵盖集成电路材料生长、先进信息功能材料微结构表征、器件工艺加工和性能测试表征等全流程。设备总体运行良好,开放共享率稳步提升。平台的布局合理、技术先进,可为实验室科研工作提供深度的技术支撑,同时为其他科研院所,高校、企业等单位提供高水平的测试、咨询与培训服务。目标是建成国内一流、国际先进的集成电路材料生长、表征和测试加工平台,促进国际一流的原创性科研成果产出,持续提升实验室在集成电路材料领域的国际影响。