所级中心第一季度培训实录

为进一步提高平台仪器设备使用效率，加强仪器使用的安全意识和责任意识，提升科研人员对大型尖端仪器的理论知识水平和实际操作技能。

所级公共技术中心材料器件工艺与表征平台在2026年第一季度开展了16场专项培训，其中包含入室安全培训，RIE刻蚀设备上机培训、IBE刻蚀设备上机培训、台阶仪设备上机培训、ICP刻蚀设备上机培训、减薄抛光设备上机培训、SVG直写光刻设备上机培训、MA6光刻设备上机培训及光刻工艺入门实操培训，累计培训学员58人。15名新学员通过了平台审核获得了净化室使用权限。

在平台第一季度开展的多项设备上机培训中，15名学员在完成培训后通过考核，获得设备操作许可，可以独立上机操作。

2名学员通过了MA6光刻设备上机考核；3名学员通过了SVG直写光刻设备上机培训；4名学员通过了ICP刻蚀设备上机考核；2名学员通过了RIE刻蚀设备上机考核；1名学员通过了IBE刻蚀设备上机考核；2名学员通过了退火设备上机考核；1名学员通过了台阶仪设备上机考核。

所级中心长期开展MA6、SVG、IBE、ICP、SEM、台阶仪等设备上机培训和光刻、刻蚀、表征测试等工艺培训，欢迎所内所外感兴趣的朋友联系我们，所内用户可直接联系平台，所外用户可联系公众号后台咨询。