信息功能材料微结构表征平台，位于中国科学院上海微系统与信息技术研究所长宁园区。平台配备了国内一流、国际先进的材料原子、电子结构，微观形貌与成份分析设备，具备材料和器件微结构纳米-亚埃级尺度的分析能力,对于支撑先进功能材料和新型电子器件的技术研发，进而满足国家...

材料器件工艺与表征平台拥有器件制备、材料验证和表征测试等先进微纳加工与表征测试设备，具备长期技术积累与专业服务能力，能满足射频、光电、压电、生物传感等多种核心功能器件与新型前沿交叉器件加工制备与表征测试需求。平台净化实验室~300m，大型仪器设备20多台套，总资产...

超导器件工艺平台是中科院上海微系统所信息功能材料国家重点实验室“十二五”部署建设的核心器件平台之一，总投资额逾一亿元人民币。平台建设分为两期，一期建设面积约650平方米，投资额约6500万元，其中百级洁净区域约150平方米，其它为千级洁净区域。一期工艺设备包括：电子...

建设中的“基于上海同步辐射光源的能源环境新材料原位电子结构综合研究平台（SiP?ME2）”，首次将同步辐射、亚飞秒激光、深紫外激光等先进光源与角分辨光电子能谱、双光子光电子能谱、近常压光电子能谱、近常压光进光出谱和扫描隧道谱等先进电子谱学探测以及分子束外延、激光分...