研究室主任


姓 名:

武震宇

:

职 务:

实验室主任

:

研究员

学 历:

博士研究生

通讯地址:

平城路1455号

电 话:

021-69971135

邮政编码:

201899

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电子邮件:

简历:

   武震宇,中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员、博导,国家重点研发计划首席科学家。现任传感技术实验室主任,兼任上海微技术工研院首席工程师。本科(2004)毕业于山东大学物理与微电子学院,硕士(2006)、博士(2011)毕业于德国乌尔姆大学。曾任德国博世公司研发工程师、项目经理,负责MEMS传感器芯片微纳加工工艺,开发并交付量产多种车用芯片和智能手机用芯片。2018年10月回国加入中国科学院上海微系统与信息技术研究所,以微电子制造技术和微纳加工工艺为主要手段,研发“光-机-电”一体化集成MEMS传感器和执行器芯片及高可靠微系统,实现不同尺度的物理量多维融合感知,为高精度电磁测量、激光雷达、空间激光通信等核心装备提供关键技术。承担国家重点研发计划、中科院战略先导专项、上海市协同创新专项等重大项目,在ACS Nano, Adv. Func. Mater. 等期刊发表SCI论文多篇,国际专利十余项,出版专著、译著3部。曾获2010年度国家优秀自费留学生奖学金,2019年入选国家级高层次人才项目、上海市高层次人才项目。