张进，高级工程师，男，2007年3月加入中国科学院上海微系统与信息技术研究所，目前负责传感技术联合国家重点实验室MEMS 工艺平台的技术、管理和运行工作。

    张进长期从事MEMS 工艺研发，具有多年微纳结构、器件的工艺整合开发经验，涉及加速度、压力、谐振器、红外热电堆、微振镜、气体等各类微传感器和微执行器。支撑我所承担的相关国家重大项目以及中科院和上海市等部委重大项目的科研流片任务；已完成或正在参与多项02国家重大专项、国家重点研发计划及国家自然科学基金项目，长期与院内外研究单位、高校以及高新技术企业开展微纳工艺开发领域的合作。