1996-09 至 2000-07, 上海大学, 电子材料与元器件, 学士

    2001-03 至今, 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,  高级工程师

    研究方向为MEMS微机械加工工艺及硅纳米线材料。在MEMS工艺研发、硅纳米线芯片研制与应用领域从事研究近20年，多次参与国家“863”、“973”、02重大专项、重点研发等项目的研究工作，参与研发的传感器已在航空航天、石油勘探等国家重点领域得到应用，参与发表论文20余篇，授权专利10余项。曾获上海市科学技术奖一等奖。