冯飞，博士，中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员，博士生导师，国家重点研发计划首席科学家。2004年于中科院上海微系统与信息技术研究所获博士学位，同年留所工作至今，2012年5月至次年5月于美国UC Berkeley微传感器与执行器中心做访问学者。

    冯飞研究员长期从事微纳电子机械系统（MEMS/NEMS）和微纳传感器研究，获上海市技术发明一等奖和中国仪器仪表学会科学技术进步一等奖各1项，入选上海市东方英才计划拔尖项目。作为项目负责人已完成或正承担了国家自然科学基金、国家重点研发计划、863计划、上海市科技重大专项、中科院战略先导专项等课题多项，取得了多项创新性成果：发明了可控二氟化氙腐蚀技术，并成功用于光读出热成像焦平面阵列器件的单面制作，获得了室温物体的红外图像；研制出高效微色谱分离芯片和高灵敏度微色谱检测芯片，基于上述自研的微色谱芯片，研制出我国首套深海MEMS气相色谱仪，已完成多次深海海试，海试深度超4500米，获得了深海关键溶解气体甲烷、乙烷和二氧化碳的科学数据，海试获央视、新华社等媒体报道。相关核心技术申请专利60余件，发表论文80余篇，相关研究成果发表于本领域著名国际期刊Sensor. Actuat. B-Chem.、Talanta、Analytica Chimica Acta、J. Chromatogr. A、J. Micromech. Microeng.以及本领域论文高选择性系列著名国际会议IEEE MEMS、IEEE Transducers，参编专著2部。