传感器技术全国重点实验室(原传感技术联合国家重点实验室)经国家计委批准于1987年成立,1989年通过国家验收,2025年通过科技部评议成功重组,是我国传感技术领域最早建立的国家重点实验室,建立了深厚的研究基础并产出了大量国内外领先成果,为航天、国防、安全等独家提供高端传感器核心技术。实验室面向我国产业智能化对信息获取的重大需求,建立传感器材料和结构设计理论,构建传感器成套通用和自主特色集成制造技术,突破传感器封测与可靠性增强和感算一体智能融合技术,形成传感器设计、制造、测试等共性技术国家标准,发挥信息感知的基石作用,抢占国际传感科技制高点,赋能新质生产力,支撑我国传感器高端应用自主可控和产业智能化升级。
实验室聚焦传感器材料和结构设计、异质异构集成制造技术、封测与可靠性增强技术和感算一体智能融合技术四大研究方向,以传感界面定量设计、跨尺度异构集成制造、多失效分析与可靠性增强、感算一体智能化系统四个重点研究任务为切入点,针对我国传感器行业共性问题,攻坚共性基础问题和关键核心技术,建立传感器可量化性能、劣化失效机制和可靠性设计理论,研发原创单面单片MEMS通用制造、多场信号传感与人工智能融合感知技术,提升传感器需求企业自主创新能力。形成传感器设计、制造、测试等全链条共性技术国家标准,基本建成支撑我国传感器自主可控的国家战略力量,带动国内传感器技术水平提升。
实验室先后获得12项国家和省部级奖励,在IEEE MEMS和 Transducers 两大国际顶会发文长期保持领先地位;主办的《Nature》(自然)旗下唯一工程类期刊、仪器仪表领域顶刊《Microsystems & Nanoengineering》,专注于微纳传感器技术。实验室牵头制定了多项微纳传感器领域国家标准,作为传感器领域“国家智库”,起到了国家队作用。实验室主体承担了中国科学院学部联合基金委设立本领域国家科技战略唯一项目《微纳传感器科技发展战略研究》,并担任组长为中国工程院中国电子科技发展战略研究中心撰写《国家发展战略蓝皮书--传感器技术》。实验室多名学术带头人入选新一代人工智能、KJW某专项、脑计划、智能传感器、BTIT等国家重大项目指南和责任专家,并培养三十余人在国内外传感器领域优势单位和著名科研院所担任教职。
实验室协同上海工研院将原创技术推进到中试研发,与需求企业对接提升技术创新力,与行业龙头合作承研科技部、工信部等国家级重大项目,与上下游企业合作形成产业链条。已有多项实验室专利转化落地,促进了相关产业的发展。如“微创手术MEMS工艺”、硅基MEMS振荡器、MEMS气体传感微型器件结构技术等多项专利技术在华为、汉威、中国电科等龙头企业集团转化落地,支撑多领域重要产品升级换代。