低温探针显微测试系统可以使测试样品在真空探针台中保持测试全过程低温而不开腔。可以在低温真空情况下观测器件表面局部形变，一次性测试多个器件I-V、工作电压阈值，还可以同时测试器件低温载流子迁移率等重要参数。测试系统中显微镜最大分辨率为4μm，可以很好地观察我们小至微米量级的形变；温度范围在4.4K-400K，可以测试器件变温性能；具有0~2.5T超导磁场模块，可以扩展测试器件低温载流子迁移率等参数；拥有微波探测模块，可以结合矢量网络分析仪测试器件40GHz以内高频性能。