太赫兹技术是一个非常重要的交叉前沿领域，对现代科学技术发展、国民经济和国防建设具有重要意义。实验室依托单位上海微系统所进行太赫兹研究始于上世纪90年代，是国内最早开展太赫兹固态技术研究的单位之一，在国内外同行中具有重要影响。2010年12月，中国科学院太赫兹固态技术重点实验室获得中国科学院院长办公会批准，经过近10年发展已成为国内太赫兹/毫米波技术研究的重要基地。

   实验室根据中科院“率先行动”部署和研究所“一三五”发展目标，面向世界科技前沿和国家重大需求，定位于太赫兹/毫米波半导体固态器件及应用领域亟待解决的基础及应用基础科学问题研究。实验室从太赫兹光子学、太赫兹/毫米波电子学两个技术方向进行科研布局和技术融合，开展太赫兹/毫米波基础前沿技术、太赫兹/毫米波固态器件、电路与模块、太赫兹/毫米波通信与成像应用技术研究，突破太赫兹频段固态器件与模块关键技术，开发太赫兹应用系统，推动太赫兹/毫米波固态技术在高分辨率光谱检测、高分辨率雷达成像和高速空间通信应用等领域的应用，将实验室建设成为我国太赫兹固态技术研究和人才培养的基地，促进我国太赫兹固态技术的快速发展。