太阳能电池

反应等离子体沉积设备

　　在中科院知识创新工程、科技部“863计划”等项目支持下，中国科学院上海微系统与信息技术研究所组建了具有2MW生产能力的高效率晶体硅异质结（SHJ）太阳能电池研发平台，研制开发的双面对称结构、高效率SHJ太阳电池经第三方检测转换效率达到22.5%以上，处于国内领先水平。根据国家战略和市场需求，研制了厚度仅100μm的轻质、准柔性、高效率SHJ太阳电池，平均转换效率达到22%以上，已在我国自主研发的太阳能动力无人飞机、飞艇、新能源车等领域获得成功应用。该技术对促进我国光伏技术水平的提升、国家能源战略转型、以及保障国家安全等都有着重大的战略和实用意义。