所长：谢晓明
谢晓明同志出生于1965年1月，江苏省盱眙县人， 1990年7月参加工作，博士，研究员。1981年－1985年就读于武汉大学物理系，获学士学位。1985年-1990在中国科学院上海冶金研究所（现上海微系统所）攻读硕士和博士，1990年获博士学位。
1990年7月-1995年12月任上海微系统所助理研究员、副研究员， 其中1993年3月-1995年11月在法国巴黎工业物理化学高等工程师学校（ESPIC）做访问学者，1995年12月起任上海微系统所研究员，1998年3月-1999年12月任 上海微系统所四室副主任，1999年12月-2005年5月受研究所外派担任上海新代车辆技术有限公司部门经理，2005年5月起任信息功能材料国家重点实验室副主任，2014年3月起任超导实验室主任，2014年6月起任上海微系统所所长助理，2015年9月任上海微系统所副所长,2019年5月起任上海微系统所副所长、法定代表人。2021年2月起任上海微系统所所长。
党委书记、副所长：狄增峰
狄增峰同志出生于1979年4月，江苏省南通海安人， 2010年9月参加工作，工学博士，研究员。1997－2001年就读于南京大学基础学科教学强化部（现匡亚明学院），获学士学位。2001-2006年在中国科学院上海微系统与信息技术研究所攻读硕士和博士（期间，2004年3月至2005年9月在香港城市大学物理与材料科学系进行联合培养），2006年获工学博士学位。 2006-2010年在美国能源部Los Alamos国家实验室从事博士后研究工作。2010年9月作为海外杰出人才引进，被上海微系统所聘为研究员。2016年4月-2017年8月担任上海微系统所信息功能材料实验室副主任。2017年8月起任上海微系统所科研部部长，2018年5月起任上海微系统所所长助理（期间，2018年4月-2018年7月，中国科学院党校管理骨干培训班学员；2019年3月-2019年7月，中央党校中青年干部培训班学员）。2019年7月起任上海微系统所副所长，2023年7月起任上海微系统所党委书记，副所长。
副所长：俞文杰
俞文杰同志出生于1983年7月，上海人，2011年6月参加工作，博士，研究员。2001年-2005年就读于复旦大学材料物理专业，获学士学位。2005年-2011年就读于中国科学院上海微系统与信息技术研究所，获博士学位，其间2009年-2011年，获国家留学基金委资助，作为联合培养博士生在德国于利希研究中心学习。2011年6月起，历任上海微系统所助理研究员、副研究员、研究员。2019年11月起，任上海微系统所所长助理、战略研究室主任。2020年6月起，任上海集成电路材料研究院有限公司董事长、总经理。2020年7月起，任上海微系统所所务委员、战略研究室主任。2020年12月起，任上海微系统所所务委员、战略研究室主任、硅基材料与集成器件实验室代理主任。2021年11月起，任上海微系统所所务委员、硅基材料与集成器件实验室主任、党总支书记。2022年10月起，任上海微系统所副所长。
纪委书记：王为奕
王为奕同志出生于1974年9月，籍贯上海，1996年8月参加工作，上海财经大学毕业，经济学硕士。2001年6月—2019年2月先后任中国科学院上海分院财务处会计师，综合办公室会计师，财务审计处高级主管，财务审计处副处长（高级会计师），机关第五党支部书记，第二届妇委会副主任；2019年2月—2024年7月先后任中国科学院上海分院财务审计处处长（高级会计师），资财审计部主任兼财务审计处处长，财务与审计处处长，机关与直属单位第四届妇委会主任，机关第五党支部书记，资财审计部党支部书记，财务与审计处党支部书记；2024年7月起任上海微系统所纪委书记。
