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结构自对准制作微机械热堆红外探测器的红外吸收层方法

专利名称:	结构自对准制作微机械热堆红外探测器的红外吸收层方法
专利名称英文:
专利类别:	发明
申请号:	01131975.5
专利号:
申请日期:	2001-10-22
第一发明人:	徐峥谊
第一发明人英文:
其他发明人:	熊斌、王翊、王跃林
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
国外申请方式英文:
专利授权日期:	2007-3-28
缴费情况:
缴费情况英文:
实施情况:
实施情况英文:
其他备注:	授权
其他备注英文:
专利证书号:
专利摘要:
专利摘要英文:
国外授权日期: