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一种含镁锌氧的金属－绝缘层－半导体结构及制备工艺

专利名称:	一种含镁锌氧的金属－绝缘层－半导体结构及制备工艺
专利名称英文:
专利类别:	发明
申请号:	03151098.1
专利号:
申请日期:	2003-9-19
第一发明人:	吴惠桢
第一发明人英文:
其他发明人:	梁军、劳燕锋
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
国外申请方式英文:
专利授权日期:	2007-3-28
缴费情况:
缴费情况英文:
实施情况:
实施情况英文:
其他备注:	授权
其他备注英文:
专利证书号:
专利摘要:
专利摘要英文:
国外授权日期:

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