2025年7月16日 星期三
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改进氢化物气相外延生长氮化镓结晶膜表面质量的方法
专利名称: 改进氢化物气相外延生长氮化镓结晶膜表面质量的方法
专利类别: 发明
申请号: 200410053350.0
申请日期: 2004-7-30
第一发明人: 于广辉
其他发明人: 雷本亮、叶好华、齐鸣、李爱珍
专利授权日期: 2007-2-14
其他备注: 授权