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用掩膜和无掩膜技术一次成型原子力显微镜探针和悬臂梁

专利名称:	用掩膜和无掩膜技术一次成型原子力显微镜探针和悬臂梁
专利名称英文:
专利类别:	发明
申请号:	200410066491.6
专利号:
申请日期:	2004-9-17
第一发明人:	李昕欣
第一发明人英文:
其他发明人:	韩建强、包敏杭、杨恒、沈绍群、王跃林
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
国外申请方式英文:
专利授权日期:	2006-10-11
缴费情况:
缴费情况英文:
实施情况:
实施情况英文:
其他备注:	授权
其他备注英文:
专利证书号:
专利摘要:
专利摘要英文:
国外授权日期: