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高介电材料钛酸锶钡化学机械抛光用的纳米抛光液

专利名称:	高介电材料钛酸锶钡化学机械抛光用的纳米抛光液
专利名称英文:
专利类别:	发明
申请号:	200410093370.0
专利号:
申请日期:	2004-12-22
第一发明人:	张楷亮
第一发明人英文:
其他发明人:	宋志棠、封松林
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
国外申请方式英文:
专利授权日期:	2006-12-20
缴费情况:
缴费情况英文:
实施情况:
实施情况英文:
其他备注:	授权
其他备注英文:
专利证书号:
专利摘要:
专利摘要英文:
国外授权日期:

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