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三维互补金属氧化物半导体晶体管结构及其制备方法
专利名称: 三维互补金属氧化物半导体晶体管结构及其制备方法
专利名称英文:
专利类别: 发明
申请号: 200410067218.5
专利号:
申请日期: 2004-10-15
第一发明人: 刘卫丽
第一发明人英文:
其他发明人: 宋志棠、陈邦明、封松林
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
国外申请方式英文:
专利授权日期: 2008-10-1
缴费情况:
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实施情况:
实施情况英文:
其他备注: 授权
其他备注英文:
专利证书号:
专利摘要:
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国外授权日期: